三坐标測量儀是指在一個六面體的空間範圍内，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱爲三坐标測量機或三坐标量床。三坐标測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊号，三個軸的位移測量系統（如光栅尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐标測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。
結構型式：三軸花崗岩、四面全環抱的德式活動橋式結構
傳動方式：直流伺服系統 + 預載荷高精度空氣軸承
長度測量系統：RENISHAW開放式光栅尺，分辨率爲0.1μm
測頭系統：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針
機 台：高精度（00級）花崗岩平台
使用環境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa
空氣流量：25 L/min
長度精度MPEe： ≤2.1+L/350 (μm)
探測球精度MPEp： ≤2.1μm